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Entwicklung eines piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays

Entwicklung eines piezoelektrischen Kraftsensor-Arrays

© IMPT

Kleinste Kräfte ortsgenau und in sehr kurzer Zeit messen: An dieser Herausforderung forscht aktuell das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) in Kooperation mit dem Institut für Dynamik und Schwingungen (IDS).

Sensoren auf Basis piezoelektrischer Materialien werden in der heutigen Mikrosystemtechnik vielseitig eingesetzt. Ausgenutzt wird dabei der direkte piezoelektrische Effekt. Anwendung finden die Sensoren aktuell im Rahmen eines von der Deutschen Forschungsgemeinschaft (DFG) geförderten Projektes zur Untersuchung des Ultraschall-Drahtbondprozesses.

Da sich die Sensoren problemlos anpassen lassen, sind zukünftige Anwendungen zahllos und überall dort zu finden, wo Kräfte auf kleinstem Raum ortsaufgelöst gemessen werden sollen. Auf Grund des enormen Potentials wird in aktuellen Forschungen deshalb die weitere Optimierung des Sensorarrays vorangetrieben.

Mehr dazu unter: https://phi-hannover.de/entwicklung-eines-piezoelektrischen-kraftsensor-arrays/